製品の用途

真空コーティング太陽光半導体石油石化
石炭冶金製ガスの配気環境に配慮した各種分析機器

技術パラメータ

技術指標：Amass質量流量制御器Amass質量流量計
レンジ範囲：10 SCCM-200 SLM

測定制御範囲：コントローラバルブ制御範囲50：1流量測定距離比100：1
精度：流量：±1%F.S
繰返し精度：±0.2%F.S
応答時間：≦2 S
シミュレーション量：0～5 V
給電：±15 V
動作温度：0～50℃
作動圧力：作動圧力差：0.03～0.5 MPa作動圧力降下：＜0.01 Mpa
最大耐圧：6 MPa
電気接続：DB 15穴
漏れ率：1×10-9 SCCSHe
温度係数：±0.015%F.S/℃
ベース材質：アルミニウム合金または316 Lステンレス鋼
シール材：フッ素ゴム、クロロプレンゴム、ブタジエンゴム
継ぎ手：VCR 1/4、swagelokφ6および顧客指定